每日經(jīng)濟新聞 2022-07-30 22:12:39
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問光刻膠進展不及預期的原因是什么？如何解決？
晶瑞電材（300655.SZ）7月29日在投資者互動平臺表示，公司KrF（248nm深紫外）光刻膠產(chǎn)品分辨率達到了0.25～0.13μm的技術要求，已通過部分重要客戶測試，KrF光刻膠生產(chǎn)及測試線已經(jīng)基本建成，設備正在安裝調試中，爭取今年批量供貨。同時公司ArF光刻膠研發(fā)工作正在有序開展。
(記者 賈運可)
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