互動

精測電子：上海精測的主要產品有膜厚量測系統、光學關鍵尺寸量測系統、電子束缺陷檢測系統等

每日經濟新聞 2022-09-21 19:53:29

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問一下上海精測半導體所生產的檢測機產品屬于納米級電子束缺陷檢測裝備（EBI）和關鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）大類嗎？在國際上的產品競爭力如何？

精測電子（300567.SZ）9月21日在投資者互動平臺表示，現階段，上海精測的主要產品有膜厚量測系統、光學關鍵尺寸量測系統、電子束缺陷檢測系統、明場晶圓有圖形缺陷檢測設備、大硅片應力形貌量測設備等，其中電子束產品主要屬于電子束晶圓缺陷復查設備（Review SEM）。

(記者畢陸名)

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