新三板創新層公司海納股份新增專利信息授權：“一種可等距調節的半導體硅片夾持器”

每經訊，據啟信寶，新三板創新層公司海納股份（873995）新增專利信息，專利權人為海納股份，發明人是張慶旭、吳雄杰、肖春柳、聶早早、王志雄、白超、余天威、徐佳俊、劉偉、代明明。專利授權日為2023年6月23日，專利名稱為“一種可等距調節的半導體硅片夾持器”，專利類型為中國實用新型專利，專利申請號為CN202223164451.8。

該專利摘要顯示：本實用新型涉及半導體硅片生產技術領域，具體地說，涉及一種可等距調節的半導體硅片夾持器，包括主體支架，還包括設置于主體支架內部的等距調節機構，包括設置于主體支架頂面的調節螺母、與調節螺母螺紋連接且延伸到主體支架內的調節螺絲以及連接于調節螺絲底端的第一導軌槽，主體支架底端于第一導軌槽正下方處固定有第二導軌槽，第二導軌槽底部連接有支撐架；設置于主體支架底部的用于夾取及釋放硅片的夾持機構，包括若干等間距設置于支撐架底端的真空吸筆。本實用新型可以同時夾取和釋放多枚硅片，并且可以在夾取后對硅片間的距離進行等距調節，期間不需單枚取放硅片，可以極大地增加工作效率，還可以有效避免硅片劃傷、擦傷。

(記者 曾健輝)

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