光刻機技術實現突破性進展，人工智能AIETF（515070）盤中漲超2%

A股三大指數高開后震蕩走強，漲幅均超1%。盤面上，科技板塊強勢上漲，存儲板塊午后再度上攻。截至13點48，人工智能AIETF（515070）漲幅擴大至2.31%，其持倉股新易盛、大華股份漲超8%，深信服、光迅科技、協創數據紛紛上漲。

消息面上，北京大學團隊首次將冷凍電子斷層掃描技術應用于光刻膠微觀行為解析。該技術成功“定格”并三維重構了光刻膠在顯影液中的真實狀態，分辨率優于5納米，突破了傳統方法無法原位、高分辨率觀測的局限。基于此，團隊提出了抑制纏結與界面捕獲的工藝方案，使12英寸晶圓的光刻缺陷數量降幅超過99%，且方案與現有產線兼容，為先進制程良率提升提供了新方法。

申港證券指出，光刻是整個集成電路制造過程中耗時最長、難度最大的工藝，耗時占IC制造50%左右，成本約占IC生產成本的1/3。光刻膠是光刻過程最重要的耗材，光刻膠的質量對光刻工藝有著重要影響。

人工智能AIETF（515070）跟蹤CS人工智能主題指數（930713），成分股選取為人工智能提供技術、基礎資源以及應用端個股，聚集人工智能產業鏈上中游，俗稱“機器人”大腦“締造者”，萬物互聯“地基”。前十大權重股包括中際旭創、新易盛、寒武紀-U、中科曙光、科大訊飛、豪威集團、海康威視、瀾起科技、金山辦公、紫光股份等國內科技龍頭。

相關產品：人工智能AIETF（515070）、創業板軟件ETF華夏（159256）、創業板200ETF華夏（159573） 。