每日經濟新聞 2023-06-01 16:44:48
每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：貴公司是否，在極紫外線光有前瞻性研究？半導體前序工藝中，是否在激光刻蝕光源方面有技術儲備呢？
英諾激光（301021.SZ）6月1日在投資者互動平臺表示，公司在半導體領域提供的主要產品為碳化硅退火制程的激光器，亦有少量應用在硅基半導體檢測等關鍵制程的紫外和深紫外等激光器，客戶以國外知名半導體裝備公司為主。
(記者 王可然)
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